刻蚀一样平常分为：干法（dry etch)和湿法(wet etch)刻蚀两种 ，，，，，，，，一样平常180nm以下通常需要使用dry etch以确保加工精度和图形质量
Copyright ? 非凡国际 手艺支持 ：非凡国际数科
